Nyob rau hauv xyoo tas los no, semiconductor thev naus laus zis tau tsim sai heev, thiab qhov kev thov rau tantalum siv los ua ib zaj duab xis sputtered tau maj mam nce. Hauv kev sib xyaw ua ke, tantalum yog muab tso rau ntawm silicon thiab tooj liab conductors ua ib qho kev cuam tshuam. Cov txheej txheem tsim khoom rausputtering tantalum lub hom phiajsuav nrog ingot metallurgy (I / M) thiab hmoov metallurgy (P / M). Tantalum lub hom phiaj nrog qis dua yog feem ntau ua los ntawm tantalum ingots. Txawm li cas los xij, qee qhov kev xav tau siab dua, I / M txoj kev siv tsis tau, thiab cov hmoov metallurgy txoj kev tsuas yog siv los tsim nws. Piv txwv li, txoj kev I / M tsis tuaj yeem tsim cov hom phiaj alloy vim qhov sib txawv ntawm cov ntsiab lus ntawm tantalum thiab silicon, thiab qhov tsis muaj zog ntawm cov khoom siv silicon.
Cov khoom uas paug cov khoom siv semiconductor yuav tsum tsis muaj nyob rau hauv kev tsim cov yeeb yaj kiab. Thaum lub sputtering zaj duab xis yog tsim, yog hais tias muaj impurities nyob rau hauv lub tantalum (alloy, compound), impurities yuav nkag mus rau hauv lub sputtering chamber, ua rau coarse hais mus rau lub substrate thiab luv luv-circuit lub nyias zaj duab xis Circuit Court. Nyob rau tib lub sijhawm, impurities kuj tuaj yeem yog vim li cas rau qhov nce ntawm protrusion hais nyob rau hauv nyias zaj duab xis. Lub impurity gases xws li oxygen, carbon, hydrogen, thiab nitrogen nyob rau hauv lub hom phiaj yuav ua rau txawv phenomena thiab ua rau muaj teeb meem nyob rau hauv lub uniformity ntawm lub tsim zaj duab xis. Tsis tas li ntawd, rau cov hmoov metallurgy txoj kev, lub uniformity ntawm deposited zaj duab xis yog ib tug muaj nuj nqi ntawm grain loj nyob rau hauv lub hom phiaj, thiab lub finer lub grain nyob rau hauv lub hom phiaj, lub uniformity ntawm cov zaj duab xis tau txais. Yog li ntawd, muaj kev xav tau hauv kev kos duab rau cov khoom zoo tantalum hmoov thiab tantalum lub hom phiaj. Yog li ntawd, txhawm rau kom tau txais txiaj ntsig zoo tantalum hmoov thiab tantalum lub hom phiaj, nws yog ib qho tsim nyog los txo cov impurity cov ntsiab lus hauv tantalum hmoov thiab ua rau kom purity ntawm tantalum hmoov.
Baoji Yusheng Hlau Technology Co., Ltd. tuaj yeem tsimtantalum hmoovntawm ntau yam particle loj. Raws li qhov kev pom zoo ntawm kev ua kom zoo, peb lub tuam txhab muaj ntau yam ntawm tantalum hlau hmoov, uas tuaj yeem ua tau raws li qhov xav tau ntawm ntau tus neeg siv khoom hauv kev tshawb fawb thiab kev tsim kho, kev sim, kev tsim khoom, kev siv, thiab lwm yam.
