Lub hom phiaj cov khoom muaj ntau yam kev siv, lub qhov rais kev lag luam dav dav, thiab cov kev siv zoo tshaj plaws nyob rau ntau thaj chaw.Cov khoom siv niaj hnub no feem ntau siv cov hlau nplaum muaj zog los tsav cov electrons hauv cov qauv kauv txhawm rau txhawm rau txhawm rau ionization ntawm argon roj. Nyob ib ncig ntawm lub hom phiaj, uas ua rau muaj qhov tshwm sim uas lub hom phiaj yuav sib tsoo nrog cov argon ions thiab ua kom cov sputtering nrawm. Feem ntau, DC sputtering feem ntau yog siv rau cov hlau coatings, thaum RF AC sputtering yog siv rau cov khoom siv tsis yog cov khoom siv ceramic. Lub tswv yim tseem ceeb yog cuam tshuam argon ions ntawm lub hom phiaj ntawm qhov chaw siv lub teeb tawm hauv lub tshuab nqus tsev, thiab cov cations hauv cov ntshav yuav ua rau muaj kev cuam tshuam sai. Qhov kev sib tsoo no yuav ua rau lub hom phiaj cov khoom ya tawm thiab tso rau ntawm substrate los ua ib txheej nyias. Cov khoom siv hom phiaj yuav ua qhov no rau qhov tsis zoo ntawm cov khoom yuav tsum tau sputtered.
Rau zaj duab xis txheej ntawm cov txheej txheem sputtering, feem ntau muaj ntau cov ntsiab lus:
(1) Cov ntaub ntawv nyias nyias tuaj yeem tsim los ntawm cov hlau, alloys, lossis fringe.
(2) Raws li kev teeb tsa tsim nyog, ib zaj duab xis nyias ntawm tib lub ntsiab lus tuaj yeem tsim los ntawm ntau lub hom phiaj nyuaj.
(3) Lub hom phiaj cov khoom siv thiab cov roj molecules tuaj yeem sib xyaw lossis sib xyaw los ntawm kev ntxiv cov pa oxygen lossis lwm cov pa hluav taws xob mus rau qhov chaw tawm.
(4) High-precision zaj duab xis thickness tau yooj yim tau los ntawm kev tswj lub hom phiaj cov tswv yim tam sim no thiab lub sijhawm sputtering.
(5) Nws yog qhov tsim nyog rau kev tsim cov yeeb yaj kiab loj hauv cheeb tsam homogenous piv rau lwm txoj hauv kev.
(6) Lub hom phiaj thiab substrate txoj haujlwm tuaj yeem raug teeb tsa, thiab cov khoom sib txuas yog qhov tseem ceeb tsis cuam tshuam los ntawm lub ntiajteb txawj nqus.
